當(dāng)前位置：首頁 > 技術(shù)文章
在半導(dǎo)體制造、光學(xué)薄膜研發(fā)及精密涂層檢測等領(lǐng)域，薄膜厚度與光學(xué)參數(shù)的精準(zhǔn)測量是保障產(chǎn)品質(zhì)量與性能的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。Thetametrisis薄膜厚度測量儀（如FR-Scanner系列）憑借其高度集成的光學(xué)模塊設(shè)計，成為這一領(lǐng)域的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備——其光學(xué)...
動態(tài)激光干涉儀作為現(xiàn)代精密測量領(lǐng)域的儀器，其核心技術(shù)體系融合了光學(xué)、電子學(xué)和計算機科學(xué)的創(chuàng)新成果。該系統(tǒng)通過激光干涉原理實現(xiàn)納米級動態(tài)測量，在半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)和超精密加工等領(lǐng)域具有不可替代的作用。一、核心測量原理基于遜干涉儀的光路架構(gòu)，采用頻率穩(wěn)定的氦氖激光源（波長632.8nm），通過分束鏡產(chǎn)生參考光和測量光。當(dāng)測量光經(jīng)運動目標(biāo)反射后與參考光干涉，形成的明暗條紋變化被高靈敏度光電探測器捕獲。位移量計算公式為：ΔL=N×λ/2其中N為條紋計數(shù)，λ為激光波長。采用四象限探測...
在工業(yè)設(shè)備減振領(lǐng)域，減振臺座的高度設(shè)計常被視為"隱形調(diào)節(jié)閥"，其微小變動可能引發(fā)系統(tǒng)減振性能的連鎖反應(yīng)。通過解析臺座高度與振動傳遞路徑、固有頻率、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性的動態(tài)關(guān)系，可揭示這一參數(shù)在低頻振動控制中的核心價值。一、高度與振動能量的博弈法則當(dāng)臺座高度從常規(guī)的150mm增至300mm時，振動傳遞路徑長度增加1倍，能量衰減效率提升約15%。這種物理優(yōu)勢在低頻振動場景中尤為顯著：某石化企業(yè)離心泵項目中，通過將臺座高度從設(shè)備高度的1/10調(diào)整至1/6，成功將10Hz以下振動幅值降低22...
在半導(dǎo)體芯片制造、柔性顯示面板生產(chǎn)、新能源電池封裝等高級制造領(lǐng)域，薄膜厚度的均勻性是決定產(chǎn)品性能與良率的核心指標(biāo)。傳統(tǒng)測量方法受限于機械定位速度與單點檢測模式，難以滿足現(xiàn)代產(chǎn)線對"實時、全域、高速"的質(zhì)量控制需求。而新一代自動化厚度測量儀憑借每秒兩個點的測繪能力，以"動態(tài)掃描"替代"靜態(tài)抽檢"，正在掀起一場薄膜檢測技術(shù)的效率革命。一、極速測繪：技術(shù)突破的底層邏輯每秒雙點測繪的實現(xiàn)，源于多維度技術(shù)協(xié)同創(chuàng)新：1.并行檢測架構(gòu)：采用雙探頭陣列或分時復(fù)用技術(shù)，在機械臂移動間隙完成數(shù)據(jù)...
在半導(dǎo)體制造、光學(xué)鍍膜、新能源材料等精密工業(yè)領(lǐng)域，薄膜厚度的均勻性與精確性直接決定了產(chǎn)品性能與良率。傳統(tǒng)薄膜厚度測量依賴手動定位或固定點檢測，存在效率低、數(shù)據(jù)覆蓋不全、人為誤差大等痛點。而搭載電動R-Theta平臺的薄膜厚度測量儀，通過極坐標(biāo)自動化掃描與高精度定位，實現(xiàn)了從“單點抽檢”到“全域測繪”的跨越，為工業(yè)質(zhì)量控制提供了革命性解決方案。一、R-Theta平臺：極坐標(biāo)掃描的精密之基電動R-Theta平臺由旋轉(zhuǎn)（Theta）與徑向移動（R）雙軸構(gòu)成，可模擬極坐標(biāo)系下的精準(zhǔn)運...
在半導(dǎo)體制造與微電子領(lǐng)域，晶圓表面涂層厚度的精確控制直接決定了器件性能與良率。傳統(tǒng)膜厚測量方法依賴人工取樣或離線檢測，存在效率低、破壞性、數(shù)據(jù)片面性等痛點。而光學(xué)膜厚儀憑借其非接觸、高精度、全自動化測繪能力，已成為晶圓涂層厚度檢測的核心工具，推動行業(yè)向智能化、高效化轉(zhuǎn)型。1.技術(shù)原理：干涉光譜解碼薄膜厚度光學(xué)膜厚儀的核心技術(shù)基于光的干涉與反射原理。當(dāng)寬帶白光垂直入射至晶圓涂層時，光線在涂層表面與基底界面分別反射，兩束反射光因光程差產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。通過分光儀捕捉干涉光譜，儀器可解...