在過去的幾十年中，生物技術(shù)設(shè)備的小型化極大地改善了臨床診斷，藥物研究和分析化學(xué)?，F(xiàn)代生物技術(shù)設(shè)備，例如用于診斷，細(xì)胞分析和藥物發(fā)現(xiàn)的生物醫(yī)學(xué)MEMS，通常是基于芯片的，并且依賴于微米級和納米級生物物質(zhì)的緊密相互作用。根據(jù)市場研究報(bào)告，越來越多的醫(yī)療保健應(yīng)用正在使用bioMEMS組件。受諸如即時點(diǎn)測試，臨床和獸醫(yī)診斷等應(yīng)用的推動，到2021年，已占生物MEMS市場總量的86％。
NIL納米壓印光刻技術(shù)已從利基技術(shù)演變?yōu)閺?qiáng)大的大批量制造方法，該方法可通過將印跡或生物印跡到生物相容性上，從而大規(guī)模生產(chǎn)多種不同大小和形狀的結(jié)構(gòu)，例如高度復(fù)雜的微流體通道和表面圖案抵抗或直接進(jìn)入散裝材料。除了結(jié)構(gòu)技術(shù)外，密封和封裝是建立受限微流體通道的核心過程。因此，不同器件層，覆蓋層或互連層的鍵合是關(guān)鍵過程，可以與NIL一起以經(jīng)濟(jì)高效的大面積批量過程實(shí)現(xiàn)。作為NIL和晶圓鍵合的先驅(qū)以及市場和技術(shù)先進(jìn)者，
EVG的NIL納米壓印光刻技術(shù)解決方案可以在生物技術(shù)應(yīng)用中使用的各種基板材料上制造各種小型結(jié)構(gòu)，包括玻璃，硅和多種聚合物。每個EVG NIL解決方案都*地適合于不同的生產(chǎn)應(yīng)用。例如，熱壓花可精確刻印較大的結(jié)構(gòu)以及微結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)的組合，并且在復(fù)制高縱橫比的特征或使用非常薄的基板時非常出色。UV-NIL可在納米范圍內(nèi)提供較高的精度，圖案逼真度和產(chǎn)量。微接觸印刷是另一種NIL選項(xiàng)，可以將諸如生物分子之類的材料以*的圖案轉(zhuǎn)移到基材上。
憑借其成熟的晶圓級鍵合設(shè)備，EVG還可以提供與NIL納米壓印光刻結(jié)構(gòu)技術(shù)匹配的密封和鍵合工藝。提供各種不同的鍵合選項(xiàng)，從先進(jìn)的室溫鍵合技術(shù)到等離子活化鍵合以及高質(zhì)量的氣密密封和真空封裝。典型解決方案的示例包括用于玻璃和聚合物基板的EVG熱粘合設(shè)備，該設(shè)備通過在大面積上實(shí)現(xiàn)高壓和溫度均勻性而提供出色的結(jié)果。EVG還提供了其室溫選擇性粘合劑轉(zhuǎn)移技術(shù)，該技術(shù)可在封裝設(shè)備之前簡化生物分子的摻入。
